主要规格和技术参数
1.大范围扫描器：XY方向扫描范围大于120μm，Z方向不小于5μm；
2.高分辨扫描器：XY方向扫描范围大于10μm，Z方向不小于2.5μm；
3.扫描器噪音：RMS＜0.3埃（垂直方向），横向分辨率：0.2 nm（XY方向）；
4.扫描方式：高分辨扫描，扫描管驱动样品扫描，探针支架、探针及激光头扫描过程中保持位置恒定；
5.进针方式：智能自动进针方式（采用马达加压电陶瓷自动探测的智能进针模式，保护探针及样品）；
6.智能扫描功能：只需选择扫描速度及扫描范围，无需寻找共振峰，无需调整反馈参数gain值（可直接液体环境成像）；
7.可通过热振方式标定探针微悬臂弹性常数，标定范围：≥2MHz；
8.最大成像解析度达到一条线大于16000点。
主要功能及特色
扫描探针显微镜（SPM）能够在大气及液体环境下准确地观测样品表面微区（纳米级亚微米尺度）三维形貌；同时可对样品表面物理化学特性进行研究，能测试多种材料如纤维材料、膜材料、生物材料、高分子材料等非金属材料以及金属材料、复合材料的多种物性，包括表面组分区别、温度、表面电势、磁场力、静电力、摩擦力、电流、扫描隧道显微镜和其他表面力以及电化学互相工作里的测量。
主要附件及配置
1.高速控制器系统（含高速PC）；
2.扫描探针显微镜主机；
3.大范围扫描器（120微米以上扫描范围）；
4.高分辨扫描器（10微米扫描范围）；
5.探针支架一组（大气及液体环境实现形貌及物理特性）；
6.光学系统，含彩色高分辨CCD系统；
7.防震台（进口气浮防震台）；
8.PeakForce TNUA
9.Peak Force QNM
10.空气泵
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