主要规格和技术参数
（1）二次电子像分辨率：3.00nm;
（2）背散射电子像分辨率：4.00nm;
（3）放大倍数：5~300000；
（4）加速电压：0.5~30kV;
（5）样品室大小：标准6英寸样品空间。
主要功能及特色
功能：材料的微纳米形貌与元素分析；
特色：工作人员长期从事生物学、医学超微病理诊断、纳米材料分析。
主要附件及配置
（1）EX-250X射线能谱仪一台
（2）小型金离子溅射仪一台:北京意力博通技术发展有限公司ETD-200
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