主要规格和技术参数
分辨率：≤0.8nm (15kV)；≤1.1nm (1KV)
放大倍数：×20～×1000K
主要功能及特色
该仪器具有超高分辨率，能进行各种固态样品表面形貌的二次电子像、反射电子象观察及图像处理。该仪器利用二次电子成像原理，在镀膜或不镀膜的基础上，低电压下通过在纳米尺度上观察生物样品如组织、细胞、微生物以及生物大分子等，获得真实原貌的立体感极强的样品表面超微形貌结构信息。 具有高性能x射线能谱仪，能同时进行样品表层的微区点线面元素的定性、半定量及定量分析，具有形貌、化学组分综合分析能力。
主要附件及配置
组成：主机(包括真空系统、电子光学系统、检测器系统)，自动变压器，冷却循环水系统，能谱仪，计算机，标准工具及相关附件。
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